クリタと積水　先端半導体製造工程、ＰＦＡＳフリー化にめど　特殊オレフィン樹脂、超純水配管・継手で

クリタと積水化学工業は先端半導体製造における超純水用配管や継手の有機フッ素化合物（ＰＦＡＳ）フリー化に向けた取り組みを進めている。８日、積水化学が開発した特殊オレフィン樹脂を用い、配管材の試作・検証を行い、水に溶ける性質や微粒子の発塵性、ガス透過性などで従来品に使われていたＰＦＡＳの一種の有機フッ素樹脂（ＰＶＤＦ）と同等の性能を確認したと明らかにした。同部材のＰＦＡＳフリー化にめどが立ったという。今後、実用化を視野に試験の対象を拡大し海外を含む複数のユーザーの超純水製造装置への導入に向けた準備を進める。資材・成型企業やユーザー企業との共同開発を引き続き推進していく予定。