半導体製造業におけるＰＦＡＳ管理とＳＥＭＩの活動　対策ワーキング立ち上げ産業発展とリスク管理を両立

ＳＥＭＩジャパン サステナビリティマネージャー 枝 礼子

ペルフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物（有機フッ素化合物、ＰＦＡＳ）は、耐熱性・耐薬品性・電気絶縁性などの特性により、半導体製造で重要な役割を担ってきた。フォトリソグラフィやプラズマエッチング等のプロセス化学品に加え、製造装置や工場設備の部材、さらにはチップや関連製品に至るまで、サプライチェーン全体で多様に使用されている（図１）。一方で、環境残留性や健康影響への懸念を背景に規制検討が進む中、産業界には環境配慮と事業継続の両立が求められる。