半導体製造向けＰＦＡＳ分析 島津テクノ、管理をトータルサポート
島津テクノリサーチはこのほど、半導体関連の有機フッ素化合物（ＰＦＡＳ）分析サービスの提供を開始した。ＰＦＡＳ管理をトータルサポートする。半導体製造工程の代替困難なケースを踏まえ、使用実態の把握と周辺環境への漏えい防止を助ける。
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